Fonctionnalité
● Température maximale RT-1200 degré
● Type de four divisé, vous pouvez ouvrir le four.
● Peut introduire plus de 2 canaux de gaz, avec un degré de vide de 10 Pa à l'aide d'une pompe mécanique et d'une alimentation RF de 500 W pour améliorer le signal.
● Matériaux isolants en fibre céramique d'alumine de haute qualité
● Précision du contrôle de la température ±1 degré
● Avec fonction d'alarme de surchauffe
● Le ventilateur de refroidissement peut réduire la température du boîtier
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Modèle |
SK2-CVD-12TPB4 |
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Dimensions : Longueur de la zone de chauffe standard (mm) |
440 mm |
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Dimensions : Diamètre du tube standard (mm) |
∮60 mm |
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Température max. |
1200 degrés, température de fonctionnement continue 1100 degrés. |
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Tension (V) |
220 1P |
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Type de thermocouple |
K |
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Élément chauffant |
Fil de résistance en alliage HRE |
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Précision de la température |
±1 degré |
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Taux de chauffage |
0-30 degré/min réglage libre |
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Matériau de la chambre |
Utilisation d'un matériau avancé en fibre microcristalline d'alumine de haute qualité |
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Structure du four |
Structure à double couche refroidie par air, la température de surface est inférieure à 60 degrés |
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Contrôleur de température |
Instrument de contrôle de température PID intelligent, 30 segments de programme, contrôle SSR, fonction d'auto-réglage des paramètres PID ; augmentation de la température du programme, conservation de la chaleur du programme, refroidissement du programme |
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Alimentation RF 500 W |
Puissance de sortie : 5-500 W ±1 degré Fréquence RF : 13,56 MHz ±0,005 % Puissance réfléchie : jusqu'à 100 W Match : Automatique Interface RF : 50Ω, type N Refroidissement : refroidissement par air Alimentation : CA 208-240V, 50/60 Hz |
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Système de flux de précision à 4 canaux de gaz |
1. Débit à pleine échelle (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500)ML/min. 10L/min. 2. Type de vanne : Vanne solénoïde. 3. Position de repos de la vanne : Normalement fermée. 4. Pression différentielle : (50-300)kpa 5. Résistance à la pression : 3mpa. 6. Température de fonctionnement : 5-45 degré 7. Matériaux : acier inoxydable 316L. |
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Système de vide |
5*10-3Pa Raccord rapide KF25, soufflet en acier inoxydable, clapet manuel et bride, pompe à vide Des systèmes de vide plus élevés peuvent également être équipés en option.
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BIENVENUE OEM/ODM |
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accessoires standards
Gants thermiques|Crochet de creuset|Thermocouple|Bloc de tubes|Manuel d'utilisation|Outils|Pompe à vide|Tube de quartz|Bride|Bague d'étanchéité|Tuyau de gaz 10 mm|Support de bride, Système de gaz, Alimentation RF.
Facultatif
Différentes zones de chauffage au choix ;
Contrôle de l'écran tactile LCD pour choisir
Port RS485/USB pour connecter un ordinateur au choix.
Image détaillée pour CVD-PECVD
Application
Cet appareil est principalement utilisé pour la croissance de nanofils ou la préparation de diverses croissances de films minces à l'aide de la méthode CVD.
garantie
Garantie d'un an et assistance technique à vie
Conseils spéciaux :
1. Les consommables tels que l'élément chauffant, le tube de quartz, le creuset d'échantillon, etc. ne sont pas couverts par la période de garantie.
2. Les dommages causés par l’utilisation de gaz corrosifs et de gaz acides ne sont pas couverts par la garantie.
étiquette à chaud: Système pecvd à trois zones de chauffage 1200c, fabricants et fournisseurs de systèmes pecvd à trois zones de chauffage 1200c en Chine
